一、設(shè)備簡(jiǎn)介：

　　采用準(zhǔn)零剛度隔振技術(shù)并配合精密步進(jìn)電機(jī)調(diào)節(jié)，垂向固有頻率可低至0.4Hz;垂向剛度可調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)，滿足不同隔振及穩(wěn)定性要求;多自由度隔振能力，滿足不同方向隔振需求;自主開(kāi)發(fā)的 UI軟件，可根據(jù)客戶設(shè)備及現(xiàn)場(chǎng)安裝條件進(jìn)行調(diào)試，提供專業(yè)的解決方案。

　　掃描電子顯微鏡、微硬度計(jì)、表面粗糙度計(jì)、3D輪廓測(cè)量?jī)x、光學(xué)隔振平臺(tái)、透射電鏡、掃描探針顯微鏡以及其他超精密測(cè)量?jī)x器及光學(xué)設(shè)備。

　　二、隔振降噪系統(tǒng)性能指標(biāo)及各系統(tǒng)組成：